[发明专利]多晶硅还原酸洗系统有效
申请号: | 201310372273.4 | 申请日: | 2013-08-24 |
公开(公告)号: | CN103435042A | 公开(公告)日: | 2013-12-11 |
发明(设计)人: | 齐林喜;郭金强 | 申请(专利权)人: | 内蒙古盾安光伏科技有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 015543 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种多晶硅还原酸洗系统,包括抽风机、硅块酸洗机、硅芯酸洗机和为硅块酸洗机与硅芯酸洗机供应酸液的酸液供应装置,硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置通过管道并联至抽风机,该抽风机与酸雾淋洗塔相连并将硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置中的酸雾抽出后导入到酸雾淋洗塔。酸液供应装置与抽风机之间的管道设置有第一风量调节阀,硅块酸洗机与抽风机的管道上设置有第二风量调节阀,硅芯酸洗机与抽风机的管道上设置有第三风量调节阀。本发明的多晶硅还原酸洗系统,可以分别控制各自产生酸雾的设备内的通风量,使各个产生酸雾的设备中的风量适当,既没有较多的风量浪费,又不会导致酸雾在设备内过多留存,以免影响设备运行。 | ||
搜索关键词: | 多晶 还原 酸洗 系统 | ||
【主权项】:
一种多晶硅还原酸洗系统,包括抽风机、硅块酸洗机、硅芯酸洗机和为硅块酸洗机与硅芯酸洗机供应酸液的酸液供应装置,硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置通过管道并联至抽风机,该抽风机与酸雾淋洗塔相连并将硅块酸洗机、硅芯酸洗机与酸液供应装置中的酸雾抽出后导入到酸雾淋洗塔,其特征在于:酸液供应装置与抽风机之间的管道设置有第一风量调节阀,硅块酸洗机与抽风机的管道上设置有第二风量调节阀,硅芯酸洗机与抽风机的管道上设置有第三风量调节阀。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古盾安光伏科技有限公司,未经内蒙古盾安光伏科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201310372273.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。