[发明专利]一种制备新型前驱物合金及吸收层薄膜的方法有效
| 申请号： | 201310340866.2 | 申请日： | 2013-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN103397296A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/14;C23C14/34;H01L31/18 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 杨志宇 |
| 地址： | 341000 江西省赣*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明目的是提供一种制备新型前趋物合金及吸收层薄膜的方法，本设计乃以具有可调变三元以上前趋物合金成份制作吸收层前躯体，控制前躯体的成分设计，使得前驱物在硒化处理温度升温尚未达到硒的熔化温度(200℃-250℃)前不会产生相变化，确保硒化过程能够在一定的温度范围内完全反应完成(500-650℃)，并使硒化后的薄膜表面达到最佳的平坦度，有利于后续简化缓冲层及光窗层的制作。有助于降低CIGS太阳能电池生产成本，提高转换效率，满足了量产的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 新型 前驱 合金 吸收 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
一种制备新型多元前趋物合金及吸收层薄膜的方法，其特征为：将重量比例的材料放入真空感应熔炼炉中进行熔炼，然后浇铸在三寸的低碳钢的模具中，待降温12小时候脱膜取出靶材胚体经机加工成三寸溅镀用靶材备用；然后以无碱玻璃为基板，接着把所需镀着玻璃基材和溅镀用靶材放入溅镀腔体中，先以DC电源溅镀第一层500nm厚的Mo薄膜，然后溅镀第二层CIG吸收层前趋物薄膜，接着将镀制好薄膜放在硒化炉中进行后硒化，然后取出试片，即得。
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