[发明专利]磁控溅射真空室均匀进气装置无效
| 申请号： | 201310334828.6 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN103396008A | 公开（公告）日： | 2013-11-20 |
| 发明（设计）人： | 马磊 | 申请（专利权）人： | 蚌埠雷诺真空技术有限公司 |
| 主分类号： | C03C17/09 | 分类号： | C03C17/09 |
| 代理公司： | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人： | 张建宏 |
| 地址： | 233010 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 磁控溅射真空室均匀进气装置，一消音过滤器的排气口与气动挡板阀的进气口相接，气动挡板阀的出气口与一排气管的一端相接，排气管的另一端与一只层流管的入口端相接，层流管具有一只一端开口的外套管，在外套管内装有一只内套管，内套管与外套管间形成有封闭的环形空腔，内套管的管壁上开有一组第一排气孔，外套管的管壁上开有一组第二排气孔。由本进气装置向磁控溅射真空室内供气时，由排气管排出的气流先进入内套管内，然后通过内套管上的第一排气孔进入到环形空腔中，再由外套管上的第二排气孔较均匀地进入到真空室内，这样进入到真空室内的气流的流速可得到较大程度的减缓，从而大大减轻了因气流冲击带来的设备及产品的震动。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控溅射 真空 均匀 装置 | ||
【主权项】：
磁控溅射真空室均匀进气装置，一消音过滤器的排气口与气动挡板阀的进气口相接，气动挡板阀的出气口与一排气管的一端相接，其特征在于：排气管的另一端与一只层流管的入口端相接，层流管具有一只一端开口的外套管，在外套管内装有一只内套管，内套管与外套管间形成有封闭的环形空腔，内套管的管壁上开有一组第一排气孔，外套管的管壁上开有一组第二排气孔，外套管的开口端为层流管的入口端。
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