[发明专利]一种调测硅片切割中回收砂使用比例的方法有效
| 申请号： | 201310334276.9 | 申请日： | 2013-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN103358413A | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 孟凡强 | 申请（专利权）人： | 英利集团有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 杨帆 |
| 地址： | 071051 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种调测硅片切割中回收砂使用比例的方法，包括以下步骤：确定一种切割方法的工作台速度、线速度、钢线张力、浆料温度、浆料流量、导轮槽距，回收砂和全新砂按比例混合使用进行硅片切割；通过多次切割实验，验证出回收砂中回收碳化硅的粒度分布情况、圆度值、微粉含量和pH值，并找出使切割得到的硅片合格的最佳值，作为回收砂中碳化硅的质量控制点；在回收砂质量达到上述质量控制点的前提下，提高回收砂使用比例，并通过降低工作台速度参数、提高钢线的线速度参数、提高钢线张力参数、提高浆料流量参数、降低浆料温度参数的方式，使切割出的硅片质量合格。该方法通过确定回收砂的质量控制点，调整工艺参数，实现提高回收砂使用比例。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 回收 使用 比例 方法 | ||
【主权项】：
一种调测硅片切割中回收砂使用比例的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一确定一种切割方法的工作台速度、线速度、钢线张力、浆料温度、浆料流量、导轮槽距，回收砂和全新砂按比例混合使用进行硅片切割；步骤二通过多次切割实验，验证出回收砂中回收碳化硅的粒度分布情况、圆度值、微粉含量和PH值，并找出使切割得到的硅片合格的最佳值，作为回收砂的质量控制点；步骤三在回收砂质量达到上述质量控制点的前提下，提高回收砂使用比例，并通过降低工作台速度参数、提高钢线的线速度参数、提高钢线张力参数、提高浆料流量参数、降低浆料温度参数的方式，使切割出的硅片质量合格。
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