[发明专利]板状工件中心检测方法在审

专利信息
申请号: 201310331389.3 申请日: 2013-08-01
公开(公告)号: CN103579064A 公开(公告)日: 2014-02-12
发明(设计)人: 福士畅之 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 党晓林;王小东
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种板状工件中心检测方法,其不但能检测具有遮光性的板状工件,还能检测具有透光性的板状工件的中心。工件摄像装置(1)包括:保持工作台(14),其具有保持透光性的板状工件(Wt)的保持面(14b);摄像构件(17),其从上方对保持于保持工作台的板状工件进行摄像;以及摄像照明装置(12),其具有面积比板状工件大的发光面(12a),且在借助摄像构件进行摄像时对板状工件从下方照射光,在工件摄像装置中,在摄像照明装置的发光面和保持工作台的保持面之间确保预定的间隔(D),以对板状工件垂直照射光,并且摄像机(17b)的高度(H)设定为,将板状工件的外周拍摄成黑色的环状,并将板状工件的外侧拍摄成白色。
搜索关键词: 工件 中心 检测 方法
【主权项】:
一种板状工件中心检测方法,其使用工件摄像装置来检测板状工件的中心,所述工件摄像装置由以下部分构成:保持工作台,其借助保持面来保持透光性的板状工件;摄像构件,其对保持于所述保持工作台的板状工件进行摄像;以及摄像照明装置,其在所述摄像构件进行摄像时,从所述保持工作台的下方对板状工件照射光,所述板状工件中心检测方法的特征在于,所述摄像照明装置由面积比所述保持工作台所保持的板状工件的面积大的发光面构成,并从所述发光面垂直地发出摄像光,所述摄像构件由以下部分构成:摄像机,其配设于保持在所述保持工作台的板状工件的上方,用于对板状工件进行摄像;判断部,其根据由所述摄像机摄像得到的摄像图像来判断所述板状工件的外周;以及检测部,其根据由所述判断部判断出的板状工件的外周来检测所述板状工件的中心,在所述发光面与所述保持工作台的所述保持面之间确保有预定的间隔,所述摄像机的高度设定为:在借助所述摄像构件对所述保持工作台所保持的板状工件进行摄像时,所述板状工件的外周为黑色的环状的摄像图像,且所述板状工件的外侧为白色的摄像图像。
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