[发明专利]电阻模型的建模方法在审
| 申请号： | 201310321036.5 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103390086A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 廖梦星;吉远倩 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电阻模型的建模方法，包括：根据晶圆的测量结果建立固有的电阻模型，所述晶圆包含模拟对象和多个用于测量的Pad，所述Pad通过金属线与所述模拟对象连接；在固有的电阻模型中增加参数设置和金属线子电路，利用所述参数和金属线子电路计算金属线的电阻；根据所述测量结果和所述金属线的电阻建立最终的电阻模型。在本发明提供的电阻模型的建模方法中，在固有的电阻模型的基础上计算金属线的电阻，根据所述固有的电阻模型和金属线的电阻形成最终的电阻模型，最终的电阻模型消除了金属线对电阻模型的影响，使得模拟结果更加精确。 | ||
| 搜索关键词： | 电阻 模型 建模 方法 | ||
【主权项】：
一种电阻模型的建模方法，其特征在于，包括：根据晶圆的测量结果建立固有的电阻模型，所述晶圆包含模拟对象和多个用于测量的Pad，所述Pad通过金属线与所述模拟对象连接；在固有的电阻模型中增加参数设置和金属线子电路，利用所述参数和金属线子电路计算金属线的电阻；根据所述测量结果和所述金属线的电阻建立最终的电阻模型。
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