[发明专利]电阻模型的建模方法在审
| 申请号： | 201310321036.5 | 申请日： | 2013-07-26 |
| 公开（公告）号： | CN103390086A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 廖梦星;吉远倩 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电阻 模型 建模 方法 | ||
1.一种电阻模型的建模方法，其特征在于，包括：
根据晶圆的测量结果建立固有的电阻模型，所述晶圆包含模拟对象和多个用于测量的Pad，所述Pad通过金属线与所述模拟对象连接；
在固有的电阻模型中增加参数设置和金属线子电路，利用所述参数和金属线子电路计算金属线的电阻；
根据所述测量结果和所述金属线的电阻建立最终的电阻模型。
2.如权利要求1所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述多个Pad中其中一个Pad作为共用端，除了共用端之外的其他Pad分别通过所述金属线与所述共用端连接。
3.如权利要求2所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述其他Pad与所述共用端之间分别连接有一个电阻。
4.如权利要求1至3任一项所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述Pad的数量是13个。
5.如权利要求1所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述参数为npad，所述npad表示Pad的序数。
6.如权利要求5所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述npad为自然数，其取值范围在1到11之间。
7.如权利要求1所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述金属线的电阻的计算公式为：
rm=r_rm1×(L1+L2+L3+Lp×(12-npad))/wm×TCM×VCM；
其中，r_rm1为金属线的方块电阻，L1和L3是序数为“npad”的其他Pad所连接的电阻与其位置相邻的两个Pad之间的金属线的长度，L2是序数为“npad”的其他Pad所连接的电阻的中心与所述金属线的垂直距离，wm为金属线的线宽，TCM为温度系数，VCM为电压系数，Lp为Pad之间的间距。
8.如权利要求7所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述Lp等于200微米。
9.如权利要求7所述的电阻模型的建模方法，其特征在于，所述L1、L3和Lr之和为110微米；
其中，所述Lr是序数为“npad”的其他Pad所连接的电阻的长度。
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