[发明专利]一种MEMS检测装置及其制造工艺有效
| 申请号： | 201310304674.6 | 申请日： | 2013-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN104296784B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 于连忠;孙晨 | 申请（专利权）人： | 中国科学院地质与地球物理研究所 |
| 主分类号： | G01D3/08 | 分类号： | G01D3/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京金之桥知识产权代理有限公司11137 | 代理人： | 林建军 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种MEMS检测装置，包括测量体以及与所述测量体相连接的盖板，所述测量体包括框架及设置在所述框架内自由活动的质量块，所述盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度。从而在外部冲击力幅度超出检测装置的限定幅度时，保护质量块，进而保护检测装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 检测 装置 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】：
一种MEMS检测装置，包括：测量体以及与所述测量体相连接的盖板，所述测量体包括框架及设置在所述框架内自由活动的质量块，其特征在于，所述盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部包括方体以及与所述方体相连接的多根弹性梁，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度。
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