[发明专利]一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法有效
| 申请号： | 201310302745.9 | 申请日： | 2013-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN103409752A | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 房现飞;周广福;代智杰;孟原 | 申请（专利权）人： | 新奥光伏能源有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 杜秀科 |
| 地址： | 065001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及刻蚀技术领域，公开了一种湿法刻蚀设备及湿法刻蚀方法，所述湿法刻蚀设备，包括：接板室、温度控制室、湿法刻蚀室、出板室和传送装置，以及位于温度控制室内的控温系统，刻蚀物经所述传送装置传送依次通过所述接板室、温度控制室、湿法刻蚀室和出板室；所述控温系统用于调整刻蚀物的温度至设定温度。此外，本发明还提供了一种湿法刻蚀方法。采用本发明技术方案，由于调整刻蚀物的温度至设定温度，因此，当刻蚀液对刻蚀物进行刻蚀时，保证了刻蚀速率的一致性，提高了刻蚀生产的连续稳定性，可以适应大规模连续在线生产的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 刻蚀 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种湿法刻蚀设备，其特征在于，包括：接板室（11）、温度控制室（12）、湿法刻蚀室（14）、出板室（18）和传送装置，以及位于所述温度控制室（12）内的控温系统，刻蚀物经所述传送装置传送依次通过所述接板室（11）、温度控制室（12）、湿法刻蚀室（14）和出板室（18）；所述控温系统用于调整刻蚀物的温度至设定温度。
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