[发明专利]薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法无效
| 申请号： | 201310291168.8 | 申请日： | 2013-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN103966553A | 公开（公告）日： | 2014-08-06 |
| 发明（设计）人： | 朱儇佑;许明洙;李勇锡;赵喆来;金善浩 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 张云珠;邱玲 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开薄膜蒸镀装置及利用此的薄膜蒸镀方法。所公开薄膜蒸镀装置包括：蒸镀源，生成将蒸镀到基板的蒸镀蒸汽；喷射部，向安装有基板的所述蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽；管制部，使预定的压力作用于所述喷射部，以调节为向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽或停止向蒸镀室内喷射蒸镀蒸汽。根据这种构成，能够在蒸镀室内正确地且有效率地管制蒸镀源的蒸汽的喷射，因此采用本发明时，可以期待生产效率的提高和产品品质的稳定化。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 装置 利用 方法 | ||
【主权项】：
一种薄膜蒸镀装置，其中，包括：蒸镀室，用于安装基板；蒸镀源，生成将蒸镀到所述基板的蒸镀蒸汽；喷射部，向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽；管制部，使适宜的压力作用于所述喷射部，以调节为向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽或停止向所述蒸镀室内喷射所述蒸镀蒸汽。
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