[发明专利]MEMS麦克风及其工作控制方法

摘要

本发明公开了一种MEMS麦克风，其包括MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和ASIC芯片电连接，所述MEMS芯片设有第一振膜、第二振膜以及背板，所述背板设置于第一振膜和第二振膜之间，所述第一振膜和第二振膜分别与所述背板间隔设置构成电容结构C1和C2，所述电容结构C1和C2并接设置，所述ASIC芯片控制MEMS芯片工作以选择MEMS芯片不同的输出信号输出。本发明提供的MEMS麦克风同时具备高灵敏度和高声压级。

主权项

一种MEMS麦克风，其包括MEMS芯片和ASIC芯片，所述MEMS芯片和ASIC芯片电连接，其特征在于：所述MEMS芯片设有第一振膜、第二振膜以及背板，所述背板设置于第一振膜和第二振膜之间，所述第一振膜和第二振膜分别与所述背板间隔设置构成电容结构C1和C2，所述电容结构C1和C2并接设置，所述ASIC芯片包括偏置电压电路模块和声压识别电路模块，MEMS芯片将输入到MEMS麦克风的输入声音信号转化成供声压识别电路模块识别判断的电信号，所述声压识别电路模块接收该电信号以判别输入声音信号的声压的大小，所述偏置电压电路模块根据所述声压识别电路模块的判别结果从而为MEMS芯片提供偏置电压以控制选择MEMS芯片的不同电容结构的输出信号作为输出。