[发明专利]一种异形尺寸的直拉单晶硅及其生长方法无效
| 申请号： | 201310267769.5 | 申请日： | 2013-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN103343385A | 公开（公告）日： | 2013-10-09 |
| 发明（设计）人： | 孙新利 | 申请（专利权）人： | 浙江长兴众成电子有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22;C30B15/30 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 秦晓刚 |
| 地址： | 313100 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种异形尺寸的直拉单晶硅及其生长方法，该直拉单晶硅具有至少两个等直径尺寸部，该直拉单晶硅前端设有细颈部，后端设有具有锥度的尾部，等直径尺寸部之间设有直径过渡部。本发明根据单晶硅电阻率分布及单晶尺寸进行搭配生产，采用引晶、放肩、转肩、等径一部过程、直径过渡、等径二部过程、收尾步骤工艺进行生长，得到一根异形尺寸晶棒，尺寸及长度可按照任务单预先估算，本发明将不同直径的单晶硅结合在同一根晶棒上进行生长，可有效提高任务单搭配及电阻率对档性，有效降低生产成本，生产调配灵活度大。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异形 尺寸 单晶硅 及其 生长 方法 | ||
【主权项】：
一种异形尺寸的直拉单晶硅，其特征在于：该直拉单晶硅具有至少两个等直径尺寸部，该直拉单晶硅前端设有细颈部，后端设有具有锥度的尾部，等直径尺寸部之间设有直径过渡部。
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