[发明专利]用于测量氮化镓的质量的设备无效
| 申请号： | 201310261904.5 | 申请日： | 2013-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN103512867A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 裵峻莹;崔准成;金俊会;朴甫益;朴喆民;李东龙;李原兆;林圣根 | 申请（专利权）人： | 三星康宁精密素材株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 宋颖娉;宋志强 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种易于在诸如大气压和室温的常规条件下测量氮化镓（GaN）的质量的设备。该设备包括被布置在GaN衬底上方的光源和被布置在GaN衬底上方的测量单元。该光源向GaN衬底的表面发射光。该测量单元基于从GaN衬底辐射的光的光谱来测量GaN衬底的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测量 氮化 质量 设备 | ||
【主权项】：
一种用于测量氮化镓质量的设备，包括：光源，被布置在氮化镓衬底的上方，其中所述光源向所述氮化镓衬底的表面发射光；和测量单元，被布置在所述氮化镓衬底的上方，其中所述测量单元基于从所述氮化镓衬底辐射的光的光谱来测量所述氮化镓衬底的质量。
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