[发明专利]光致生酸剂、包含所述光致生酸剂的光致抗蚀剂以及包含所述光致抗蚀剂的经涂覆的制品

摘要

本发明涉及光致生酸剂、包含所述光致生酸剂的光致抗蚀剂以及包含所述光致抗蚀剂的经涂覆的制品。本发明涉及一种具有式I结构的化合物，式中，各R¹独立地是H或任选地与相邻R¹相连的取代或未取代的C_1-30脂族基团；各R²和R³独立地是H、F、C_1-10烷基、C_1-10氟代烷基、C_3-10环烷基或C_3-10氟代环烷基，其中至少一个R²和/或R³包含F；L¹、L²和L³各自独立地是单键或者任选地包含内酯基团的C_1-20连接基团，其中L¹、L²和L³中的一个或多个任选地形成环结构；各a独立地是0-12的整数；b是0-5的整数；各c、d和r独立地是0或1；p是0-10的整数；q是1-10的整数。光致抗蚀剂包括光致生酸剂，经涂覆的制品包括光致抗蚀剂。所述光致抗蚀剂可用于形成器件。

主权项

1.一种具有式I结构的化合物：式中：各R¹独立地是H或任选地与相邻R¹连接的饱和或不饱和C_1-30脂族基团；各R²和R³独立地是H、F、C_1-10烷基、C_1-10氟代烷基、C_3-10环烷基或C_3-10氟代环烷基，其中至少一个R²和/或R³包含F；L¹、L²和L³各自独立地是单键或者任选地包含内酯基团的C_1-20连接基团，其中L¹、L²和L³中的一个或多个任选地形成环结构，并且其中L¹、L²和L³中的一个或多个任选地被可聚合的C_2-20α-β不饱和有机基团取代；X是含磺酰胺、醚、酯、碳酸盐/酯、胺、酰胺、脲、硫酸盐/酯、或磺酸盐/酯的基团；Z⁺是有机或无机阳离子；以及各a独立地是0-12的整数；b是0-5的整数；各c、d和r独立地是0或1；p是0-10的整数；q是1-10的整数。