[发明专利]一种在线反馈ITO薄膜特性装置无效
| 申请号： | 201310256876.8 | 申请日： | 2013-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN103290380A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 李晨光 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/54 |
| 代理公司： | 南昌新天下专利商标代理有限公司 36115 | 代理人： | 施秀瑾 |
| 地址： | 330000 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明属于ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种在线反馈ITO薄膜特性装置。它包括ITO靶材、铜背板、冷却装置、工艺气体进气口Ⅰ、工艺气体进气口Ⅱ、反应气体进气口Ⅰ、反应气体进气口Ⅱ、监测光纤探头、基材、镀膜腔室、阴极护罩；ITO靶材绑定于铜背板表面，铜背板的另一面固定有冷却装置；工艺气体进气口Ⅰ、工艺气体进气口Ⅱ置于阴极靶下方，分为左右两路；反应气体进气口Ⅰ、反应气体进气口Ⅱ置于阴极靶上方，分为左右两路；本发明的在线实时监测ITO膜层特性，及时调整由于反应气体分布不均导致膜层异常，有效地提高生产效率与产能，减少了不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 在线 反馈 ito 薄膜 特性 装置 | ||
【主权项】：
一种在线反馈ITO薄膜特性装置，它包括ITO靶材（1）、铜背板（2）、冷却装置（3）、 工艺气体进气口Ⅰ（4）、工艺气体进气口Ⅱ（5）、反应气体进气口Ⅰ（6）、反应气体进气口Ⅱ（7）、监测光纤探头（8）、基材（9）、镀膜腔室（10）、阴极护罩（11）；其特征在于：ITO靶材（1）绑定于铜背板（2）表面，铜背板（2）的另一面固定有冷却装置（3）；工艺气体进气口Ⅰ（4）、工艺气体进气口Ⅱ（5）置于阴极靶下方，分为左右两路；反应气体进气口Ⅰ（6）、反应气体进气口Ⅱ（7）置于阴极靶上方，分为左右两路；阴极靶正上方为基材（9）；监测光纤探头（8）放置于反应溅射腔室侧壁反应气体进气口Ⅱ（7）下方。
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