[发明专利]一种折反式紫外光刻物镜有效
| 申请号： | 201310244143.2 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN103278912A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 白瑜;邢廷文;朱红伟;吕保斌;邓超;廖志远 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B13/14 | 分类号： | G02B13/14;G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 梁爱荣 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明一种折反式紫外光刻物镜，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中第一透射组包括第一正透镜、第一负透镜、第二正透镜、第三正透镜、第四正透镜、第二负透镜、第五正透镜、第六正透镜、第三负透镜、第七正透镜、第八正透镜；反射组包括第一反射镜、第二反射镜；第二透射组包括第九正透镜、第四负透镜、第十正透镜、第五负透镜、第十一正透镜、第十二正透镜、第十三正透镜、第十四正透镜、第十五正透镜、第十六正透镜、第十七正透镜、第十八正透镜、第十九正透镜。本发明数值孔径大、成像质量好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反式 紫外 光刻 物镜 | ||
【主权项】：
一种折反式紫外光刻物镜，其特征在于，以物平面输入光束传播方向为系统光轴，在系统光轴上依次放置第一透射组、反射组件和第二透射组，其中第一透射组具有正光焦度，反射组具有负光焦度，第二透射组具有正光焦度；其中：第一透射组包括第一正透镜(1)、第一负透镜(2)、第二正透镜(3)、第三正透镜(4)、第四正透镜(5)、第二负透镜(6)、第五正透镜(7)、第六正透镜(8)、第三负透镜(9)、第七正透镜(10)、第八正透镜(11)；反射组包括第一反射镜(12)、第二反射镜(13)；第二透射组包括第九正透镜(14)、第四负透镜(15)、第十正透镜(16)、第五负透镜(17)、第十一正透镜(18)、第十二正透镜(19)、第十三正透镜(20)、第十四正透镜(21)、第十五正透镜(22)、第十六正透镜(23)、第十七正透镜(24)、第十八正透镜(25)、第十九正透镜(26)。
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