[发明专利]异向性导电胶印刷工艺在审
申请号: | 201310235212.3 | 申请日: | 2013-06-14 |
公开(公告)号: | CN103367182A | 公开(公告)日: | 2013-10-23 |
发明(设计)人: | 廖富江 | 申请(专利权)人: | 廖富江 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;H01L21/50 |
代理公司: | 东莞市创益专利事务所 44249 | 代理人: | 李卫平 |
地址: | 广东省东莞市黄江镇*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及芯片封装技术领域,尤其是涉及异向性导电胶印刷工艺,该工艺包括:先是将异向性导电胶通过烘烤的方式直接印刷在晶圆片或第一基板的表面上,异向性导电胶与晶圆片或第一基板形成一体并电性连接晶圆片或第一基板上的半导体组件;然后将晶圆片或第一基板切割出单颗IC,单颗IC上具有与其同尺寸的异向性导电胶;最后将单颗IC直接加热压合到玻璃、胶片或第二基板上,使单颗IC上的异向性导电胶接合并电性连接玻璃、胶片或第二基板。本发明达到节省原材料,稳定异向性导电胶与IC的位置关系,使组装更方便、快捷,优化工艺步骤,符合产业利用,有利于提升生产效率和质量,节约成本,具有良好的经济效益和社会效益。 | ||
搜索关键词: | 向性 导电 胶印 工艺 | ||
【主权项】:
异向性导电胶印刷工艺,其特征在于:该工艺包括:先是将异向性导电胶(1)通过烘烤的方式直接印刷在晶圆片或第一基板(2)的表面上,异向性导电胶(1)与晶圆片或第一基板(2)形成一体并电性连接晶圆片或第一基板(2)上的半导体组件;然后将晶圆片或第一基板(2)切割出单颗IC(3),单颗IC(3)上具有与其同尺寸的异向性导电胶(1);最后将单颗IC(3)直接加热压合到玻璃、胶片或第二基板(4)上,使单颗IC(3)上的异向性导电胶(1)接合并电性连接玻璃、胶片或第二基板(4)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造