[发明专利]在三维模块上形成焊料凸起的方法和系统无效
申请号: | 201310226999.7 | 申请日: | 2013-06-08 |
公开(公告)号: | CN103489801A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 党兵;罗载雄 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 于静;张亚非 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明涉及在三维模块上形成焊料凸起的方法和系统。焊料被同时从模具转移到多个3D组装的模块以在所述模块上提供焊料凸起。该模具包括含有注入的熔化的焊料或预先形成的焊料球的空腔。在所述模块位于所述模具上时,包含弹性压力衬垫和延伸穿过所述衬垫的真空线路的固定装置向所述模块施加压力。在回流和焊料转移到模块后,该固定装置相对于模具移位。使用所述固定装置将经由穿过所述衬垫的真空压力而附着到所述固定装置的模块从所述模具移位。 | ||
搜索关键词: | 三维 模块 形成 焊料 凸起 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种用于在三维模块上形成焊料凸起的方法,包括:提供包括多个空腔的模具;在所述空腔中提供焊料;将多个分立的电子模块对准在所述模具上,使得所述电子模块与所述模具接触并覆盖所述空腔;在所述模具的方向上同时在每一个所述电子模块上施加压力;在所述电子模块上施加压力的同时回流所述空腔内的所述焊料;使所述焊料从所述空腔转移到所述电子模块并且在其上形成焊料凸起;以及将所述多个电子模块与所述模具分离。
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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