[发明专利]梳状结构的放电电离源无效
| 申请号： | 201310191693.2 | 申请日： | 2013-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN103311088A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李灵锋;汪小知;李鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州微木智能系统有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 215163 江苏省苏州市高*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种梳状结构的放电电离源，包括电源、正放电电极和负放电电极，所述电源的正负极分别与相对设置的所述正放电电极和负放电电极连接；所述正放电电极和负放电电极之间交替相对设置有正极导流板和负极导流板，所述正极导流板仅一端与所述正放电电极连接；所述负极导流板仅一端与所述负放电电极连接；所述正极导流板和所述负极导流板之间形成连贯的通道。本发明在一个较小的结构上就能大大增加放电面积，提高了放电气体流量，降低了外加电压，减小对其他器件影响；提供一种采用MEMS技术加工而成的微型化的离子源。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 放电 电离 | ||
【主权项】：
一种梳状结构的放电电离源，包括电源、正放电电极和负放电电极，所述电源的正负极分别与相对设置的所述正放电电极和负放电电极连接；其特征在于：所述正放电电极和负放电电极之间交替相对设置有正极导流板和负极导流板，所述正极导流板仅一端与所述正放电电极连接；所述负极导流板仅一端与所述负放电电极连接；所述正极导流板和所述负极导流板之间形成连贯的通道。
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