[发明专利]增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置及加工方法

摘要

本发明是一种增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置及加工方法。其中加工装置包括保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层，容器所设中空腔体内装设有工作液体，工件放置在工作液体的表面并与工作液体接触，保护装置装设在工件的顶面，限制层装设在工件的下方，激光束通过透镜组照射在工件的背面。本发明的加工装置在保证蓝宝石表面加工质量较好的情况下，又具有较高的材料去除率。本发明加工方法中碎屑容易被液体带走，激光烧蚀的热效应小，加工区域无重凝层，加工质量好；激光诱导空化效应引起微射流增强效应，增强了蓝宝石等透明材料的激光刻蚀率，可以实现材料表面的微结构和成形切割加工。本发明的加工方法操作简单，方便实用，具有较高的加工速率。

主权项

一种增强蓝宝石激光背向湿式刻蚀率的加工装置，其特征在于包括有保护装置、激光束、透镜组、容器、限制层，其中容器所设中空腔体内装设有工作液体，工件放置在工作液体的表面并与工作液体接触，保护装置装设在工件的顶面，限制层装设在工件的下方，激光束通过透镜组照射在工件的背面。