[发明专利]电子级混合废酸回收及循环利用技术

摘要

本发明涉及一种电子级混合废酸回收及循环利用技术，该技术以电子行业制绒过程中产生的高浓度硝酸、氢氟酸、氟硅酸废液为原料，在强制搅拌条件下，据混酸中氟硅酸的含量加入分析纯钠盐或钾盐固体，形成氟硅酸盐固体沉，沉淀经过滤、烘干后以高纯氟硅酸盐产品出售，母液直接回产线使用，本发明具有工艺思路简单，环保高效等特点。

主权项

一种电子级混合废酸回收及循环利用技术，其特征在于：包括依次进行的如下步骤：（1）、分析废液中硝酸、氢氟酸、氟硅酸的质量浓度；（2）、在搅拌的条件下，往步骤（1）的废液中添加固体钠盐或钾盐，所述的钠盐或钾盐与氟硅酸的摩尔比为0.9~2:1； （3）、将步骤（2）所得反应液静置0.5~2h；（4）、将静置后的反应液进行过滤；（5）、分析过滤后的反应液中硝酸、氢氟酸的质量浓度，并添加电子级硝酸溶液或氢氟酸溶液，将硝酸的质量浓度调整为15 %~20%，氢氟酸的质量浓度调整为5 %~10 %，氟硅酸的质量浓度调整为小于5 %，然后将调整后的反应液送回生产线使用；（6）、将过滤得到的氟硅酸盐晶体洗涤，然后在100~150℃烘干2~3h后，得到氟硅酸盐产品。