[发明专利]微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法在审
| 申请号： | 201310107095.2 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103630967A | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王永进;高绪敏;于庆龙;施政;贺树敏;李欣;何颖洁;李丽 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G02B6/122 | 分类号： | G02B6/122;G02B6/13;G02B6/136 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 汪旭东 |
| 地址： | 210003 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法，其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片，该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层；所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构，结合背后对准和深硅刻蚀技术，去除氮化物光波导器件和微纳驱动器件下方的硅衬底层，得到悬空氮化物光波导器件；采用氮化物背后减薄刻蚀技术，获得分离的氮化物光波导器件和微纳驱动器件；该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离，利用氮化物器件层和空气的折射率差异，实现氮化物光波导器件对光场的约束；相邻波导器件之间的距离可以通过微机电驱动器进行调控，由于耦合距离的改变，从而实现对光波导器件光学性能的调控。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 可调 氮化物 波导 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
本发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法，其特征在于：其结构由电极（1）、支撑结构（2）、可移动梳齿（3）、固定梳齿（4）、悬臂梁（5）、可移动波导（6）、圆环（7）、光栅（8）、椭圆支撑结构（9）组成，电极（1）连接着固定梳齿（4）的一端，可移动梳齿（3）的一端与支撑结构（2）相连接，悬臂梁（5）与支撑结构（2）的另一端相连接，悬臂梁（5）的另一端与椭圆支撑结构（9）相连接，椭圆支撑结构（9）的另外两端与可移动波导（6）相连接，可移动波导（6）的另一端与两边的光栅（8）相靠近，圆环（7）与可移动波导（6）相靠近。
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