[发明专利]一类含双支化硫鎓盐光生酸剂、制备方法及其应用无效
| 申请号： | 201310086839.7 | 申请日： | 2013-03-19 |
| 公开（公告）号： | CN103217868A | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 金明;徐浩然;浦鸿汀;万德成 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/00;C07C381/12 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 张磊 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一类含双支化硫鎓盐光生酸剂、制备方法及其应用。所述光生酸剂的R1为甲基、苄基、五氟代苄基或4-氰基苄基；R2为三氟甲烷磺酸根、六氟磷酸根、六氟锑酸根或四氟硼酸根。本发明的PAG适用于诸如365nm、385nm、405nm，425nm的紫外区到近可见光区成像的光刻胶光活性成分。此类光生酸剂合成步骤简单，易于提纯，产率高，在365nm～450nm区域内，此类光生酸剂用于光刻胶体系能制备出性能优良的光刻胶，体现出0.3以上的光生酸量子产率，光激发效率高，催化活性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一类 含双支化硫鎓盐光生酸剂 制备 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
1.一种含双支化硫鎓盐光生酸剂，其特征在于为下述结构中任一种：![]()
其中R1为甲基、苄基、五氟代苄基或4-氰基苄基中任一种；R2－为阴离子。
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