[发明专利]用于通过燃烧去除有害气体的装置有效
| 申请号： | 201310084218.5 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN103307611A | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | H·赖夏特;A·弗伦策尔;M·弗尔斯特;C·克洛斯;S·特雷普特;R·维森贝格;W·维森贝格;G·戴维斯 | 申请（专利权）人： | 达斯环境专家有限责任公司 |
| 主分类号： | F23G7/06 | 分类号： | F23G7/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国德*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及用于通过燃烧去除例如在生产半导体材料时产生的、尤其是含氨气的有害气体的装置（1），所述装置具有：能加热的热解管（2），所述有害气体为了热裂化成反应气体而穿流所述热解管；在所述热解管（2）的出口（3）下游的点火装置（4）；以及用于所述反应气体在反应区（6）中的燃烧的空气供给装置（5）。根据本发明设置，关于所述热解管（2）中的所述有害气体的流动方向（a）而言，在所述热解管（2）的出口（3）的下游布置有偏转装置（7）用于使所述反应气体与供给的空气一起偏转和形成涡流。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 通过 燃烧 去除 有害 气体 装置 | ||
【主权项】：
用于通过燃烧去除有害气体的装置（1），所述有害气体例如在生产半导体材料时产生，尤其是含氨气的有害气体，所述装置具有：能加热的热解管（2），所述有害气体为了热裂化成反应气体而穿流所述热解管；在所述热解管（2）的出口（3）下游的点火装置（4）；以及用于所述反应气体在反应区（6）中的燃烧的空气供给装置（5），其特征在于，关于所述热解管（2）中的所述有害气体的流动方向（a）而言，在所述热解管（2）的出口（3）的下游布置有偏转装置（7）用于使所述反应气体与供给的空气一起偏转和形成涡流。
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