[发明专利]用于形成氮化物晶体的方法无效
申请号: | 201310081062.5 | 申请日: | 2007-10-05 |
公开(公告)号: | CN103184519A | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 史蒂芬·艾佛烈德·泰索;东-斯尔·帕克;约翰·托马斯·勒曼;马克·德艾芙琳;克里斯蒂·纳拉恩;慧聪·洪 | 申请(专利权)人: | 迈图高新材料公司 |
主分类号: | C30B29/40 | 分类号: | C30B29/40;C30B9/00 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;李茂家 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 提供用于生长氮化物晶体的方法和选自AlN、InGaN、AlGaInN、InGaN和AlGaNInN中的一种的结晶成分。所述成分包括真的单晶,其从直径至少1mm的单核生长,没有横向应变和倾斜晶界,具有低于约104cm-2的位错密度。 | ||
搜索关键词: | 用于 形成 氮化物 晶体 方法 | ||
【主权项】:
用于生长氮化物晶体的方法,其包括:提供包含低于1重量百分比氧的AlN或InN源材料,所述AlN源材料选自单晶或多晶AlN,或AlxGa1‑x‑yInyN,其中0≤x,y,x+y≤1,和x或y的至少之一为大于0.05;提供矿化剂;任选地,提供一个以上的晶种;提供囊体;用含氮溶剂填充该囊体;在高于约550℃温度下和高于约2kbar的压力下在超临界流体中处理该囊体和内含物。
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