[发明专利]用于形成氮化物晶体的方法无效

专利信息
申请号: 201310081062.5 申请日: 2007-10-05
公开(公告)号: CN103184519A 公开(公告)日: 2013-07-03
发明(设计)人: 史蒂芬·艾佛烈德·泰索;东-斯尔·帕克;约翰·托马斯·勒曼;马克·德艾芙琳;克里斯蒂·纳拉恩;慧聪·洪 申请(专利权)人: 迈图高新材料公司
主分类号: C30B29/40 分类号: C30B29/40;C30B9/00
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 提供用于生长氮化物晶体的方法和选自AlN、InGaN、AlGaInN、InGaN和AlGaNInN中的一种的结晶成分。所述成分包括真的单晶,其从直径至少1mm的单核生长,没有横向应变和倾斜晶界,具有低于约104cm-2的位错密度。
搜索关键词: 用于 形成 氮化物 晶体 方法
【主权项】:
用于生长氮化物晶体的方法,其包括:提供包含低于1重量百分比氧的AlN或InN源材料,所述AlN源材料选自单晶或多晶AlN,或AlxGa1‑x‑yInyN,其中0≤x,y,x+y≤1,和x或y的至少之一为大于0.05;提供矿化剂;任选地,提供一个以上的晶种;提供囊体;用含氮溶剂填充该囊体;在高于约550℃温度下和高于约2kbar的压力下在超临界流体中处理该囊体和内含物。
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