[发明专利]一种提高椭偏仪测量精度的方法

摘要

本发明属于光学电子器件技术领域，具体为一种提高椭偏仪测量精度的方法。所述椭偏仪特征包括依次连接的如下部件：光源、固定起偏器、旋转起偏器、样品、检偏器、探测器等；其中，旋转起偏器和检偏器以角速度保持的比例关系同步旋转。该型椭偏仪具有两种自洽的方法获取椭偏参数，进而获取被测样品的各类光学参数。传统上，一般采用两种方法之一获取椭偏参数，或者对两种方法获取的参数进行简单的平均。本发明提出一种新的数据处理方法，将两种方法有机结合起来，能显著提高测量准确度。

主权项

1.一种提高椭偏仪测量精度的方法，所述的椭偏仪包括依次连接的如下部件：光源，固定起偏器，旋转起偏器，样品，检偏器，探测器；其中，旋转起偏器的方位角和检偏器的方位角保持的比例关系同步旋转；其特征在于所述椭偏仪探测到的光强表示成方位角的余弦分频形式：(1)其中，(2a)(2b)(2c)(2d)(2e)为直流分量，是背景光强，是与光强相关的常数，ρ₀定义为；系数的值由计算机对采集的信号按照下式得出：(3)其中，n为在一个测量周期内，探测器采样的光强数据的个数。