[发明专利]高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201310067012.1 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN103207021A | 公开（公告）日： | 2013-07-17 |
| 发明（设计）人： | 毛海央;欧文;吴文刚;欧毅 | 申请（专利权）人： | 江苏物联网研究发展中心 |
| 主分类号： | G01J5/12 | 分类号： | G01J5/12;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214135 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法，其包括衬底；衬底的上表面设置介质支撑膜，衬底内形成热隔离腔体；热隔离腔体的正上方设有吸收材料支撑膜，吸收材料支撑膜上设纳米纤维体；吸收材料支撑膜的外侧设有若干热电堆，且吸收材料支撑膜外侧的若干热电堆串接后电连接成一体；热电堆的探测热端与吸收材料支撑膜相接触，热电堆的探测冷端通过介质支撑膜与衬底接触；相互串接的热电堆外侧设置用于将探测电压输出的金属电极，热电堆的探测冷端位于热隔离腔体的外侧上方。本发明纳米纤维体的制备过程便捷，结构简单易于实现，便于单片集成，同时器件的响应率及探测率高，又能与CMOS工艺相兼容，适用范围广，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 性能 mems 热电 红外探测器 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构，包括衬底（101）；其特征是：所述衬底（101）的上表面设置介质支撑膜（301），所述介质支撑膜（301）与衬底（101）内的释放阻挡体共同形成释放阻挡带（302），衬底（101）内的上部通过释放阻挡带（302）形成热隔离腔体（1101）；热隔离腔体（1101）的正上方设有吸收材料支撑膜（701），所述吸收材料支撑膜（701）上设有用于吸收红外辐射的纳米纤维体（1001）；吸收材料支撑膜（701）的外侧设有若干热电堆，且所述吸收材料支撑膜（701）外侧的若干热电堆串接后电连接成一体；热电堆对应邻近吸收材料支撑膜（701）的一端形成探测热端，热电堆对应远离吸收材料支撑膜（701）的一端形成探测冷端，热电堆的探测热端与吸收材料支撑膜（701）相接触，热电堆的探测冷端通过介质支撑膜（301）与衬底（101）接触；相互串接的热电堆外侧设置用于将探测电压输出的金属电极（601），热电堆的探测冷端位于热隔离腔体（1101）的外侧上方。
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