[发明专利]一种环形的在旋转中可交替切换支点的工件支撑机构有效
申请号: | 201310037540.2 | 申请日: | 2013-01-30 |
公开(公告)号: | CN103103490A | 公开(公告)日: | 2013-05-15 |
发明(设计)人: | 罗蓉平;董骐;李常斌;孙广泰 | 申请(专利权)人: | 北京丹鹏表面技术研究中心 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C16/458 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 廖元秋 |
地址: | 100096 北京市海淀*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种环形的在旋转中可交替切换支点的工件支撑机构,属于真空镀膜设备的辅助结构设计领域。该机构包括:安装在镀膜机底板上的底座,通过轴承安装在底座上镀膜机真空腔内的环形旋转支撑组件,设置在环形旋转支撑组件外侧的驱动组件,该驱动组件驱动环形旋转支撑组件旋转;固定在环形旋转支撑组件上的一组固定支撑柱组件和一组活动支撑柱组件,固定支撑柱组件的上端和活动支撑柱组件的上端为支撑工件的支点;活动支撑柱组件在随环形旋转支撑组件旋转的同时,上端能上下移动,使固定支撑柱组件与活动支撑柱组件交替支撑工件,从而实现无遮挡的全部表面镀膜的技术,且本发明的机构还具有运行平稳,结构简单易维护,可精确控制的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 环形 旋转 交替 切换 支点 工件 支撑 机构 | ||
【主权项】:
一种环形的在旋转中可交替切换支点的工件支撑机构,其特征在于,该机构包括:安装在镀膜机底板上的底座,通过轴承安装在底座上镀膜机真空腔内的环形旋转支撑组件,设置在环形旋转支撑组件外侧的驱动组件,该驱动组件驱动环形旋转支撑组件旋转;固定在环形旋转支撑组件上的一组固定支撑柱组件和一组活动支撑柱组件,该固定支撑柱组件的上端和活动支撑柱组件的上端为支撑工件的支点;该活动支撑柱组件在随环形旋转支撑组件旋转的同时,上端能上下移动,使固定支撑柱组件与活动支撑柱组件交替支撑工件,实现工件在旋转中支点的自动切换。
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