[发明专利]玻璃基片涂胶装置及其固定座在审
申请号: | 201310031906.5 | 申请日: | 2013-01-28 |
公开(公告)号: | CN103969955A | 公开(公告)日: | 2014-08-06 |
发明(设计)人: | 周健;亢红伟 | 申请(专利权)人: | 南昌欧菲光科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16;B05C13/02;B05C11/08 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 邓云鹏 |
地址: | 330000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种玻璃基片涂胶固定座,用于在涂胶时固定玻璃基片,所述玻璃基片涂胶固定座上开设收容孔,所述收容孔的尺寸与所述玻璃基片的尺寸相适配,所述玻璃基片包括用于涂胶的涂胶面,所述玻璃基片收容于所述收容孔中,且所述涂胶面与所述玻璃基片涂胶固定座的外表面上平滑过渡。当玻璃基片收容于收容孔中时,其涂胶面与玻璃基片涂胶固定座的外表面间平滑过渡。涂胶时,由于玻璃基片与玻璃基片涂胶固定座的外表面平滑过渡,因此光刻胶不会出现回流现象,使光刻胶在玻璃基片上分布均匀。上述玻璃基片涂胶固定座可适用于多边形基片。同时还提供了使用上述玻璃基片涂胶固定座的玻璃基片涂胶装置。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 涂胶 装置 及其 固定 | ||
【主权项】:
一种玻璃基片涂胶固定座,用于在涂胶时固定玻璃基片,其特征在于,所述玻璃基片涂胶固定座上开设收容孔,所述收容孔的尺寸与所述玻璃基片的尺寸相适配,所述玻璃基片包括用于涂胶的涂胶面,所述玻璃基片收容于所述收容孔中,且所述涂胶面与所述玻璃基片涂胶固定座的外表面上平滑过渡。
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