[发明专利]一种对氢气敏感的钯/碳/二氧化硅/硅异质结材料有效
申请号: | 201310018255.6 | 申请日: | 2013-01-18 |
公开(公告)号: | CN103048362A | 公开(公告)日: | 2013-04-17 |
发明(设计)人: | 薛庆忠;杜永刚;张忠阳;夏富军;雷拓;韩治德 | 申请(专利权)人: | 中国石油大学(华东) |
主分类号: | G01N27/04 | 分类号: | G01N27/04;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/18 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266580 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明提供了一种具有优异氢气敏感效应的钯/碳/二氧化硅/硅异质结材料,该材料是通过对碳膜的掺杂和加入二氧化硅插层的方法,优化了钯/碳/二氧化硅/硅异质结的电学性能,从而制备出具有优异氢气敏感效应的钯/钯掺杂碳膜/二氧化硅/硅异质结新材料。该材料可以用于开发性能优异的氢气敏感器件,该器件无需加热器,能在室温下工作,且具有耗能低,工艺简单,灵敏度高,响应、恢复时间短的特点,在气体探测领域,具有重要的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 氢气 敏感 二氧化硅 硅异质结 材料 | ||
【主权项】:
一种对氢气敏感的钯/碳/二氧化硅/硅异质结材料 其特征是,钯/碳/二氧化硅/硅异质结具有优异氢气敏感效应。
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