[发明专利]光束位置和角度的调节装置有效
| 申请号： | 201310016305.7 | 申请日： | 2013-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN103092001A | 公开（公告）日： | 2013-05-08 |
| 发明（设计）人： | 张善华;曾爱军;袁乔;黄立华;任冰强;黄惠杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置，其特点在于该装置由沿光束前进方向依次的普通透镜、双焦镜、图像传感器和计算机构成，所述的普通透镜和所述的双焦镜的长焦距共焦点，所述的图像传感器感光面位于所述的双焦镜的后焦面，所述的图像传感器的中心在系统光轴上，所述的图像传感器的输出端与所述的计算机的输入端相连。本发明装置不仅能够实现光束位置和角度的精确调节，而且结构简单、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 位置 角度 调节 装置 | ||
【主权项】：
一种用于光刻机曝光系统的光束位置和角度的调节装置，其特征在于该装置由沿光束前进方向的普通透镜（01）、双焦镜（02）、图像传感器（03）和计算机（04）构成，所述的普通透镜（01）和所述的双焦镜（02）的长焦距共焦点，所述的图像传感器（03）感光面位于所述的双焦镜的后焦面，所述的图像传感器（03）的输出端与所述的计算机（04）的输入端相连。
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