[发明专利]一种材料气相外延用同心圆环喷头结构

摘要

本发明公开了一种材料气相外延用同心圆环喷头结构，解决在较大的衬底或多片衬底的晶体生长中，在大面积沉积区域提供前驱物混合气体的均匀流场问题。本发明包含有一个以上独立的进气管道，进气管道上设有监控调节进气流速和流量的控制器，喷头底部设有出气挡板，喷头内设有一个以上同心圆环，各同心圆环之间形成独立腔体并且相互隔离，各同心圆环顶端连接一个独立的进气管道，各同心圆环底端的出气挡板上设有一个及以上的出气孔。本发明通过各路气源彼此隔离并独立管控，以及多个喷头集成使用的方式，明显改善大面积沉底的生长晶体质量，大幅提高生产效率。

主权项

一种材料气相外延用同心圆环喷头结构，包含有：一个以上独立的进气管道，其特征在于，所述进气管道上设有监控调节进气流速和流量的控制器，所述控制器监控管道内气体的流速、流量并调节使其均匀流场，所述喷头底部设有出气挡板，所述喷头内设有一个以上同心圆环，同心圆环为筒状，喷头内中心设有一中心圆环，中心圆环外的同心圆环的外壁与内壁顶端之间设有密封板，同心圆环的外壁与内壁底端之间设有出气挡板，同心圆环的外壁、内壁、密封板与出气挡板形成一立体的隔离区域，各同心圆环之间形成独立腔体并且相互隔离，各同心圆环顶端的密封板上连接一个独立的进气管道，各同心圆环底端的出气挡板上设有一个及以上的出气孔，所述喷头下面设有圆形反应腔，各独立的进气管道通入不同金属源或气体。