[发明专利]一种材料气相外延用扇形喷头结构

摘要

本发明公开了一种材料气相外延用扇形喷头结构，使第一前驱物、第二前驱物、各种保护性气体在大面积反应区域内充分混合后形成较为均匀的流场。本发明包含有一个以上进气管道，进气管道上设有检测并控制进气流速和流量的控制器，喷头腔体内设有一个以上扇形的独立隔离区域，隔离区域顶端密封板连接一个进气管道，隔离区域底端的出气挡板上设有一个及以上的气体喷口，喷头下面设有圆形反应腔。本发明实现Ⅲ族-氮化物半导体材料的大批量生产，提高Ⅲ族-氮化物半导体材料的生产效率。

主权项

一种材料气相外延用扇形喷头结构，包含有一个以上进气管道，其特征在于，所述进气管道上设有检测并控制进气流速和流量的控制器，所述喷头腔体内设有一个以上扇形的独立隔离区域，所述隔离区域两侧边设有竖直的隔离板，所述隔离区域两隔离板顶部之间设有密封板，所述隔离区域两隔离板底部之间设有出气挡板，所述隔离区域两隔离板远离中心的远端之间设有弧形外板，所述隔离区域两隔离板、密封板、弧形外板与出气挡板之间形成独立腔体并且相互隔离，所述隔离区域顶端密封板连接一个进气管道，所述隔离区域底端的出气挡板上设有一个及以上的气体喷口，所述喷头下面设有圆形反应腔，所述圆形反应腔内按放射式排布多个喷头。