[发明专利]装载工位

摘要

基板加载工位，其具有框架，框架形成腔室，腔室配置成保持受控制的环境；以及传送机器人，其连接到框架；以及，一个或多个基板盒保持位置，每个能具有安置于框架中的基板盒保持架。一个或多个基板盒保持位置中的每一个配置成在可与传送机器人连通的预定位置可移除地支承相应基板盒以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中一个或多个基板盒保持位置配置成实现一个或多个基板盒保持架与其它基板盒保持架的可互换性以便改变基板加载工位的基板盒保持容量。

主权项

1.一种基板装载工位，包括：框架，其形成一种配置成用以保持受控制的环境的腔室，所述框架具有共同的搁架；传送机器人，其连接到共同的框架；以及安置于共同的搁架上的一个或多个基板盒保持位置，并且每个配置成用以保持安置于所述共同的搁架上的基板盒保持架，所述一个或多个基板盒保持位置限定所述共同的搁架的可互换基板盒接口，其与彼此同时安置于共同的搁架上的其他不同的可互换基板盒接口可互换，可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口的每个对于所述共同的搁架是共同的，并且配置成用以在可与所述传送机器人连通的基板盒的预定位置可移除地接口连接并支承不同预定尺寸的不同相对应的基板盒保持架，以实现在相应盒与传送机器人之间的基板传送，其中所述一个或多个基板盒保持位置的可互换基板盒接口和其他不同的可互换基板盒接口选择性地安置于所述一个或多个基板盒保持位置，以实现预定尺寸的一个或多个基板盒保持架与不同预定尺寸的其它基板盒保持架的可互换性并且改变所述基板装载工位的基板盒保持容量并且在对于具有基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量的基板盒保持位置而言共同的所述共同的搁架上从第一最大数量到不同的第二最大数量改变由基板盒保持位置能够同时保持的基板盒的最大数量，使得所述共同的搁架的基板盒保持容量具有可互换的基板盒保持位置的第一最大数量和基板盒保持位置的第二最大数量。