[发明专利]采用高脉冲重复频率的皮秒激光脉冲的激光直接烧蚀

摘要

激光直接烧蚀（LDA）产生切割到介电层中的图案以形成具有受控信号传播特性的导电迹线。LDA处理包括选择用于沿着工件表面上的刻划线移除期望深度的材料的剂量通量；选择一系列激光脉冲中每个激光脉冲的时间脉冲宽度；以及选择所述一系列激光脉冲的脉冲重复频率。所述脉冲重复频率至少部分基于所选择的时间脉冲宽度，以维持沿着所述刻划线的所选择的剂量通量。所选择的脉冲重复频率提供沿着所述刻划线的激光光斑的预定的最小重叠。所述LDA过程还包括根据所选择的剂量通量、时间脉冲宽度和脉冲重复频率生成包括所述一系列激光脉冲的激光束。

主权项

一种用于激光直接烧蚀的方法，所述激光直接烧蚀产生切割到介电层中的图案以形成具有受控信号传播特性的导电迹线，所述方法包括：选择用于沿着工件表面上的刻划线移除期望深度的材料的剂量通量；选择一系列激光脉冲中每个激光脉冲的时间脉冲宽度；选择所述一系列激光脉冲的脉冲重复频率，其中所述脉冲重复频率的所述选择至少部分基于所选择的时间脉冲宽度，以维持沿着所述刻划线的所选择的剂量通量，并且其中所选择的脉冲重复频率提供沿着所述刻划线的激光光斑的预定的最小重叠；根据所选择的剂量通量、时间脉冲宽度和脉冲重复频率，使用激光源生成包括所述一系列激光脉冲的激光束；以及提供所述工件和所述激光束之间的相对运动，使得所述激光束的路径以选定的速率循着沿着所述工件的所述表面的所述刻划线位置。