[实用新型]用于PECVD设备的硅片自动上下料装置

摘要

本实用新型涉及一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，在机架上转动安装有机械手，在机械手上安装有吸盘，在机械手外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构、第一升降平台机构、导向机构、第一出片搬运机构、第一储料机构、第一运输机构、第一小车定位机构、第一石墨舟定位机构与第一搬运小车，在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构、第二升降平台机构、出片输送机构、第二出片搬运机构、第二储料机构、第二运输机构、第二小车定位机构、第二石墨舟定位机构与第二搬运小车；本实用新型大大提高了生产效率，降低了工人劳动强度，避免了人工手动上下料而引起的硅片破碎率高的问题，降低了生产成本。

主权项

一种用于PECVD设备的硅片自动上下料装置，其特征是：在机架上转动安装有机械手（10），在机械手（10）上安装有吸盘（11），在机械手（10）外侧的机架上安装有第一硅片盒输送机构（1a）、第一升降平台机构（2a）、导向机构（3）、第一出片搬运机构（4a）、第一储料机构（5a）、第一运输机构（6a）、第一小车定位机构（7a）、第一石墨舟定位机构（8a）与第一搬运小车（9a），在机架上内侧位置安装有第二硅片盒输送机构（1b）、第二升降平台机构（2b）、出片输送机构（12）、第二出片搬运机构（4b）、第二储料机构（5b）、第二运输机构（6b）、第二小车定位机构（7b）、第二石墨舟定位机构（8b）与第二搬运小车（9b）；所述第一运输机构（6a）安装于第一出片搬运机构（4a）的前方，第二运输机构（6b）安装于出片输送机构（12）的前方，机械手（10）安装于第一运输机构（6a）与第二运输机构（6b）之间的机架上。