[实用新型]一种单晶炉的炉底护盘有效
申请号: | 201220730066.2 | 申请日: | 2012-12-25 |
公开(公告)号: | CN203007470U | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 刘威 | 申请(专利权)人: | 英利能源(中国)有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 魏晓波 |
地址: | 071051 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉的炉底护盘,包括炉底护盘本体和排气护盖,其中,炉底护盘本体上设置有多个安装孔;可拆卸地安装在安装孔中的排气护盖上设置有排气孔。在本实用新型所提供的炉底护盘中,将排气孔设置在能够从炉底护盘本体拆卸下来的排气护盖上。在排气孔周围附着了大量杂质后,可以将排气护盖拆下,换上新的排气护盖。由于排气护盖的尺寸远小于现有炉底护盘的尺寸,其价格也相应的下降,实现了降低单晶炉的设备维修费用的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 炉底护盘 | ||
【主权项】:
一种单晶炉的炉底护盘,其特征在于,包括:设置有多个安装孔的炉底护盘本体;和设置有排气孔的排气护盖,所述排气护盖可拆卸地设置在所述安装孔中。
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