[实用新型]一种用于AMOLED的移动蒸镀装置有效
| 申请号： | 201220656550.5 | 申请日： | 2012-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN203034084U | 公开（公告）日： | 2013-07-03 |
| 发明（设计）人： | 金山 | 申请（专利权）人： | 彩虹（佛山）平板显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 528300 广东省佛*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于AMOLED的移动蒸镀装置：包括与基板相对的可以在与基板平行的平面内移动的蒸发源。本实用新型所述移动蒸镀装置采用可以移动的蒸发源对基板进行蒸镀，提高了蒸镀膜厚度的一致性、均一性，提高了大型化AMOLED的质量，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 amoled 移动 装置 | ||
【主权项】：
一种用于AMOLED的移动蒸镀装置，其特征在于：包括与基板（1）相对的可以在与基板（1）平行的平面内移动的蒸发源（2）。
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