[实用新型]一种连续加料硅单晶炉有效
| 申请号： | 201220637399.0 | 申请日： | 2012-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN202936509U | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 惠梦君 | 申请（专利权）人： | 无锡市蓝德光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B15/10;C30B15/28;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 杨小双 |
| 地址： | 214174 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种连续加料硅单晶炉，包括提拉装置、加料装置、石英坩埚、石墨坩埚、石墨加热器，所述石英坩埚分为内坩埚和外坩埚，内、外坩埚底部相连并有一个相通的孔洞，所述内、外坩埚之间留有加料空隙；所述提拉装置上设置有称重传感器和监测晶棒生长的摄像头；所述加料装置通过加料斗进行加料，所述加料口置于内、外坩埚之间。本实用新型通过将石英坩埚设置成内外两层，加料装置在内外坩埚之间进行加料，能够有效的防止原料加入时对晶棒生长的影响，保证了生产晶体的整体浓度，降低了特定浓度晶棒的生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 加料 硅单晶炉 | ||
【主权项】：
一种连续加料硅单晶炉，包括提拉装置、加料装置、石英坩埚、石墨坩埚、石墨加热器，其特征在于：所述石英坩埚分为内坩埚和外坩埚，内、外坩埚底部相连并有一个相通的孔洞，所述内、外坩埚之间留有加料空隙。
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