[实用新型]研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201220521040.7 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN202825548U | 公开（公告）日： | 2013-03-27 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B37/00;H01L21/321 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种研磨垫调整器清洗装置及化学机械研磨装置，所述研磨垫调整器清洗装置包括一清洗杯和至少一个喷嘴，所述研磨垫调整器位于所述清洗杯上方，所述喷嘴固定于所述清洗杯的周壁，用于向所述清洗杯上方的研磨垫调整器喷洒清洗液。采用该化学机械研磨装置，能够有效延长研磨盘承载盘寿命并降低产品不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调整器 清洗 装置 化学 机械 | ||
【主权项】：
一种研磨垫调整器清洗装置，其特征在于，包括一清洗杯和至少一个喷嘴，所述研磨垫调整器位于所述清洗杯上方，所述喷嘴固定于所述清洗杯的周壁，用于向所述清洗杯上方的研磨垫调整器喷洒清洗液。
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