[实用新型]一种扩散炉石英炉管有效
申请号: | 201220501756.0 | 申请日: | 2012-09-28 |
公开(公告)号: | CN202809006U | 公开(公告)日: | 2013-03-20 |
发明(设计)人: | 张虎 | 申请(专利权)人: | 中电电气(南京)光伏有限公司 |
主分类号: | C30B31/10 | 分类号: | C30B31/10;C30B31/16;H01L31/18 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 程化铭 |
地址: | 211100 江苏省南京*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种扩散炉石英炉管。在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口;还设置一接液瓶,所述接液瓶为密闭容器,其顶部设有进气管和排气管;所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管,接液瓶的进气管连接一转接管。反应废气P2O5、HPO3通过石英炉管的炉口左右两侧的排气口进入接液瓶,冷凝后经转接管进入酸排管道排放掉。接液瓶和转接管非常短,反应废气P2O5、HPO3无法在管壁聚集,部分废气会以液态的形式存放在接液瓶其余则被酸排抽走。本实用新型,制备安装简单实用,延长了炉管使用周期,同时保证电池片的品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 石英 炉管 | ||
【主权项】:
一种扩散炉石英炉管,其特征是:在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口;还设置一接液瓶,所述接液瓶为密闭容器,其顶部设有进气管和排气管;所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管,接液瓶的进气管连接一转接管。
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