[实用新型]一种扩散炉石英炉管有效

专利信息
申请号: 201220501756.0 申请日: 2012-09-28
公开(公告)号: CN202809006U 公开(公告)日: 2013-03-20
发明(设计)人: 张虎 申请(专利权)人: 中电电气(南京)光伏有限公司
主分类号: C30B31/10 分类号: C30B31/10;C30B31/16;H01L31/18
代理公司: 江苏圣典律师事务所 32237 代理人: 程化铭
地址: 211100 江苏省南京*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种扩散炉石英炉管。在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口;还设置一接液瓶,所述接液瓶为密闭容器,其顶部设有进气管和排气管;所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管,接液瓶的进气管连接一转接管。反应废气P2O5、HPO3通过石英炉管的炉口左右两侧的排气口进入接液瓶,冷凝后经转接管进入酸排管道排放掉。接液瓶和转接管非常短,反应废气P2O5、HPO3无法在管壁聚集,部分废气会以液态的形式存放在接液瓶其余则被酸排抽走。本实用新型,制备安装简单实用,延长了炉管使用周期,同时保证电池片的品质。
搜索关键词: 一种 扩散 石英 炉管
【主权项】:
一种扩散炉石英炉管,其特征是:在石英炉管的炉口左右两侧各设置一排气口;还设置一接液瓶,所述接液瓶为密闭容器,其顶部设有进气管和排气管;所述石英炉管上的两个排气口共同接入到接液瓶的进气管,接液瓶的进气管连接一转接管。
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