[实用新型]一种包含新型放电腔的激光光源系统有效
| 申请号： | 201220461906.X | 申请日： | 2012-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN203026784U | 公开（公告）日： | 2013-06-26 |
| 发明（设计）人： | 陈进新;王宇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电研究院 |
| 主分类号： | H01S3/032 | 分类号： | H01S3/032;H01S3/038 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100094*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种包含放电腔的激光光源系统，属于气体激光技术领域，解决了现有高压脉冲电源中，因外部条件限制激光光源系统更大能量、更高重频的发展要求的技术问题。该激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成。所述放电腔由内、外两圈组成。所述外圈固定不动，安装有多个高压电源及电极，每个高压电源对应一个所述外圈上安装的电极。所述内圈由电机带着旋转，并且所述内圈上安装有多个电极，所述内圈上安装的电极与所述外圈上安装的电极形成阴阳电极。本实用新型通过改变放电腔外圈的高压电源及电极数量和位置、放电腔内圈的电极数量和位置、内圈旋转速度、放电腔外圈的高压电源放电时序，使更大能量和更高重频的激光输出成为可能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 包含 新型 放电 激光 光源 系统 | ||
【主权项】：
一种包含放电腔的激光光源系统，其特征在于，所述激光光源系统由放电腔、聚光模块和线宽压窄模块组成，其中， 所述放电腔由内、外两圈组成； 所述外圈安装有多个高压电源及电极，每个高压电源对应一个所述外圈上安装的电极； 所述内圈由电机带着旋转，并且所述内圈上安装有多个电极； 所述内圈上安装的电极与所述外圈上安装的电极形成阴阳电极。
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