[实用新型]用于清理单晶炉真空管道的装置有效
| 申请号： | 201220374415.1 | 申请日： | 2012-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN202768347U | 公开（公告）日： | 2013-03-06 |
| 发明（设计）人： | 杨瑞;梁永生;李迎春 | 申请（专利权）人： | 银川隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | F04B39/16 | 分类号： | F04B39/16;F04B53/20;C30B35/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 750001 宁夏回族自*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于清理单晶炉真空管道的装置，在炉体主室的两侧分别设置有一个真空管道出口，每个真空管道出口的连接法兰与一个直角弯管的一端连接，每个直角弯管的另一端与一套过滤装置连通，该两个过滤装置分别与各自的四通真空管道连通，每个四通真空管道分别与一个真空管道三连通，该两个真空管道三交汇与真空管道一联通，真空管道一依次与真空管道二、主泵球阀、节流阀及主真空泵连通。本实用新型的装置，将过滤装置通过直角弯管直接与炉体主室两侧的真空管道接口相连，挥发物就被提前阻隔在该过滤装置中，只需定时清理该过滤装置，大大提高了清理效率和效果，保护了主真空泵和泵油。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清理 单晶炉 真空 管道 装置 | ||
【主权项】：
一种用于清理单晶炉真空管道的装置，其特征在于：在炉体主室（1）的两侧分别设置有一个真空管道出口，每个真空管道出口的连接法兰与一个直角弯管（9）的一端连接，每个直角弯管（9）的另一端与一套过滤装置（2）连通，该两个过滤装置（2）分别与各自的四通真空管道（3）连通，每个四通真空管道（3）分别与一个真空管道三（10）连通，该两个真空管道三（10）交汇与真空管道一（4）联通，真空管道一（4）依次与真空管道二（5）、主泵球阀（6）、节流阀（7）及主真空泵（8）连通。
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