[实用新型]一种用于异质结薄膜沉积系统组态有效
| 申请号： | 201220355586.X | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN202730236U | 公开（公告）日： | 2013-02-13 |
| 发明（设计）人： | 周文彬;刘幼海;刘吉人 | 申请（专利权）人： | 吉富新能源科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201707 上海市青*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型目的一种用于异质结薄膜沉积系统组态，分别设置在不同的两个区域，第一区域、第二区域及第三区，其中第一区域的洁净度要求高于第二区域及第三区域；该异质结薄膜沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第二承载室、第三承载室及多个镀膜反应室、沉积室和卸载区，由于整体呈半H型设置，有效降低占地面积，无需设置洁净度要求较高的回传机构，同时，也有效降低承载盘受环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 异质结 薄膜 沉积 系统 组态 | ||
【主权项】：
一种用于异质结薄膜沉积系统组态分别跨越两种不同洁净区域的第一区域、第二区域极第三区域，其中第一区域的环境洁净度高于第二区域极第三区域；该异质结薄膜沉积系统组态依序包含加载区、自动交换区、第一承载室、第二承载室、第三承载室及多个镀膜反应室、沉积室和卸载区。
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