[实用新型]曝光机及其照度控制装置有效
| 申请号： | 201220271106.1 | 申请日： | 2012-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN202600361U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 张磊;张力舟;吴琪 | 申请（专利权）人： | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B26/02 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 230011 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机及其照度控制装置，涉及微电子领域，既能使照度在一定范围内恒定，又可保证光源功率稳定，提高曝光灯的使用寿命。本实用新型所述曝光机的照度控制装置，包括：平行设置的第一偏振片、第二偏振片和通过机械传动方式与所述第二偏振片连接的驱动部件；所述第一偏振片的光轴和所述第二偏振片的光轴重合，所述第一偏振片固定，所述第二偏振片可在自身所在平面内旋转，所述驱动部件驱动所述第二偏振片在自身所在平面内旋转。本实用新型还公开了一种所述曝光机，设置有上述的照度控制装置。本实用新型用于改进曝光机。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 及其 照度 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种曝光机的照度控制装置，其特征在于，包括：平行设置的第一偏振片、第二偏振片和通过机械传动方式与所述第二偏振片连接的驱动部件；所述第一偏振片的光轴和所述第二偏振片的光轴重合，所述第一偏振片固定设置，所述第二偏振片可在自身所在平面内旋转，所述驱动部件驱动所述第二偏振片在自身所在平面内旋转。
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