[实用新型]自动检测筛选型溅射设备

摘要

本实用新型提供自动检测筛选型溅射设备，包括依次连接的制品进口装置、传送手臂、作业仓和传送带；所述作业仓内设有作业平台；所述作业平台包括多于一个的夹具；所述作业仓上表面设有多于一个的靶材；在所述作业仓制品出口处设有传感器；所述作业仓上设有控制器；所述传送带一侧设有可升降的导向杆，另一侧设有一次品传送带；所述导向杆呈弧形，且弧形的弦长等于导向杆的支点到次品传送带的起点的距离；传感器将检测制品表面的信息传给控制器；控制器控制导向杆的起落；所述次品传送带的尾部设有次品归集箱。本实用新型的有益效果是在同一工序完成溅射、检测以及筛选步骤，具有生产工序少、成本低，生产效率高等优点。

主权项

自动检测筛选型溅射设备，包括依次连接的制品进口装置（1）、传送手臂（2）、作业仓（3）和传送带（8）；所述作业仓（3）内设有作业平台（13）；所述作业平台（13）包括多于1个的夹具（10）；所述作业仓（3）上表面设有多于1个的靶材（4）；其特征在于：在所述作业仓（3）制品出口处设有传感器（6）；所述作业仓（3）上设有控制器（5）；所述传送带（8）一侧设有可升降的导向杆（12），另一侧设有一次品传送带（9）；所述导向杆（12）呈弧形，且弧形的弦长等于导向杆（12）的支点到次品传送带（9）的起点的距离；传感器（6）将检测制品（11）表面的信息传给控制器（5）；控制器（5）控制导向杆（12）的起落；所述次品传送带（9）的尾部设有次品归集箱（7）。