[实用新型]一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置有效
| 申请号： | 201220207658.6 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN202595326U | 公开（公告）日： | 2012-12-12 |
| 发明（设计）人： | 熊红兵 | 申请（专利权）人： | 熊红兵 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 胡红娟 |
| 地址： | 310030 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置，包括坩埚底板、带有导气孔的坩埚盖板、绕所述坩埚底板边缘立置的坩埚侧板，所述坩埚侧板的顶部设有支撑所述坩埚盖板的支撑柱。本实用新型提供的用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置，在有效保护石英坩埚的同时，大大降低坩埚保护装置的加工制造成本，同时减少了晶体硅产品中碳元素的含量，提高了晶体硅的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体 铸锭 坩埚 保护装置 | ||
【主权项】：
一种用于晶体硅铸锭炉的坩埚保护装置，包括坩埚底板（2）、带有导气孔的坩埚盖板（6）、绕所述坩埚底板（2）边缘立置的坩埚侧板（7），其特征在于，所述坩埚侧板（7）的顶部设有支撑所述坩埚盖板（6）的支撑柱（8）。
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