[实用新型]具有超声波除尘功能的光学镀膜装置有效
| 申请号： | 201220129220.0 | 申请日： | 2012-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN202626277U | 公开（公告）日： | 2012-12-26 |
| 发明（设计）人： | 詹君;孙鸣洋;刘艾河 | 申请（专利权）人： | 湖北山鹰光学有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 434200 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，包括：真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。使用本实用新型的具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，可以除去待镀件清洗之后送入镀膜装置之前染上的灰尘，保证镀膜的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 超声波 除尘 功能 光学 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种具有超声波除尘功能的光学镀膜装置，其特征在于，包括：真空间、用于承载待镀件的转盘、与所述待镀件相对设置的蒸发源、支撑杆、通过所述支撑杆位于所述转盘和所述蒸发源之间的遮板组、超声波发生器和超声波换能器；其中，所述转盘、所述蒸发源、所述支撑杆和所述遮板组均位于所述真空间内，所述超声波发生器和所述超声波换能器电连接，所述超声波换能器和所述转盘机械连接。
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