[实用新型]离子溅射仪溅射靶有效
| 申请号： | 201220093483.0 | 申请日： | 2012-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN202499900U | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 袁玫;黄耀生 | 申请（专利权）人： | 南京南大仪器厂 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开的离子溅射仪溅射靶，包括上盖板，所述上盖板上侧设有接线柱，其中，所述上盖板下侧设置靶头，所述靶头为圆形，所述靶头直径为50mm～60mm，所述靶头外表面设有溅射层，所述溅射层涂有溅射材料；所述靶头外侧设有压盖；所述上盖板和靶头通过螺栓固定连接。本实用新型提供的离子溅射仪溅射靶，安装简单，使用方便，减少了靶头的面积，仅需靶头正面涂覆溅射材料，节约了材料，降低了后期使用成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 溅射 | ||
【主权项】：
一种离子溅射仪溅射靶，包括上盖板(4)，所述上盖板(4)上侧设有接线柱(5)，其特征在于：所述上盖板(4)下侧设置靶头(1)，所述靶头(1)为圆形，所述靶头(1)直径为50mm～60mm，所述靶头(1)外表面设有溅射层(2)，所述溅射层(2)涂有溅射材料。
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