[发明专利]阻抗匹配系统及阻抗匹配方法

摘要

本发明公开一种阻抗匹配系统及阻抗匹配方法，系统包括：扫频电源、匹配装置、传感器和分别与扫频电源、传感器和匹配装置相连的控制器；控制器判断扫频电源的输出阻抗与反应腔室的阻抗是否匹配，在扫频电源的输出阻抗与反应腔室的阻抗失配时，判断匹配装置的输入阻抗是否在扫频电源能完成匹配的阻抗范围内，若是，则保持匹配装置的阻抗不变，调节扫频电源的输出频率，使扫频电源的输出阻抗与反应腔室的阻抗匹配；否则，保持扫频电源的输出频率不变，调节匹配装置的阻抗使得匹配装置的输入阻抗在扫频电源能实现匹配的阻抗范围内，此时调节扫频电源的输出频率，以使扫频电源的输出阻抗与反应腔室的阻抗匹配。

主权项

一种阻抗匹配系统，与反应腔室连接，其特征在于，包括：扫频电源，用于输出频率可调的射频信号；匹配装置，连接在所述扫频电源和所述反应腔室之间，所述匹配装置用于对所述扫频电源和所述反应腔室之间进行阻抗匹配并将所述射频信号传导至所述反应腔室；传感器，连接在所述扫频电源和所述匹配装置之间，所述传感器用于检测系统电压和系统电流；和控制器，所述控制器分别与所述扫频电源、所述传感器和所述匹配装置相连，所述控制器根据所述传感器的检测结果判断所述扫频电源的输出阻抗与所述反应腔室的阻抗是否匹配，在所述扫频电源的输出阻抗与所述反应腔室的阻抗失配时，进一步判断所述匹配装置的输入阻抗是否在所述扫频电源能完成匹配的阻抗范围内，若是，则保持所述匹配装置的阻抗不变，调节所述扫频电源的输出频率，使所述扫频电源的输出阻抗与所述反应腔室的阻抗匹配；否则，保持所述扫频电源的输出频率不变，调节所述匹配装置的阻抗使得所述匹配装置的输入阻抗在所述扫频电源能实现匹配的阻抗范围内，此时调节所述扫频电源的输出频率，以使所述扫频电源的输出阻抗与所述反应腔室的阻抗匹配。